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SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發射掃描電子顯微鏡。
先進的鏡筒設計，高壓隧道技術（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設計，實現了低電壓高分辨率成像，同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互，優化的操作和使用流程，無論經驗是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務。
| 電子槍類型 | 分辨率 | 放大倍率 | 加速電壓 | 樣品臺 |
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肖特基 場發射電子槍 |
0.9 nm @ 15 kV，SE 1.3 nm @ 1 kV，SE 0.8nm @ 30 kV，STEM |
1 ~ 2,500,000 x | 20 V ~ 30 kV | 五軸全自動樣品臺 |
產品特點
01 分辨率高，低加速電壓下實現高分辨成像
02 電磁復合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品
03 高壓隧道技術(SuperTunnel) ，在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應，低電壓分辨率得到保證
04 電子光路無交叉，有效的降低系統像差，提升分辨能力
05 水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩定性、可靠性和可重復性
06 磁偏轉六孔可調光闌，自動切換光闌孔，無需機械調節，實現高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
應用領域
應用案例
產品參數
| 關鍵參數 | 分辨率 |
0.9 nm @ 15 kV，SE 0.8 nm @ 30 kV，STEM |
| 加速電壓 | 20 V ～ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ～ 2,500,000 x | |
| 電子槍類型 | 肖特基場發射電子槍 | |
| 樣品室 | 真空系統 | 全自動控制 |
| 攝像頭 |
雙攝像頭 （光學導航+樣品倉內監控） |
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樣品臺行程 |
X: 125 mm，Y: 125 mm，Z: 50 mm （* 可選配超大倉體版本） |
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| 探測器和擴展 | 標配 |
鏡筒內高角度電子探測器 側向低角度電子探測器 |
| 選配 |
插入式背散射電子探測器 軌跡球 & 旋鈕控制板 |
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| 軟件 | 語言 | 中文 |
| 操作系統 | Windows | |
| 導航 | 光學導航、手勢快捷導航 | |
| 自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |
